凈化工程
PURIFICATION ENGINEERING
十萬級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于352000(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小于29300(pc/m3)。
十萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業,此外十萬級無塵車間在醫工業中也很常用。
十萬級凈化潔凈室換氣次數估算:十萬級潔凈室不小于15次/h。
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十萬級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小于352000(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小于29300(pc/m3)。十萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業,此外十萬級無塵車間在醫工業中也很常用。十萬級凈化潔凈室換氣次數估算:十萬級潔凈室不小于15次/h。
萬級換氣次數[1] ≥25次/小時(一般取27-28);十萬級換氣次數≥15次/小時(一般17-18),但是不能盲目按照換氣次數進行設計風量,要考慮房間及工藝余熱、余濕。
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潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為「潔凈室」。世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位,潔凈室等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合國際公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示,取指數為之,若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。
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